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超純水處理設(shè)備在芯片制造行業(yè)的應(yīng)用
來源:http://www.xamz.com.cn/發(fā)布時間:2019年03月06日

  隨著水處理行業(yè)快速發(fā)展,不光有可供人飲用的凈水,清洗各機(jī)器的純水也隨之而來。而超純水處理設(shè)備在各行業(yè)應(yīng)用十分廣泛,尤其是芯片制造行業(yè)對超純水的水質(zhì)要求非常高,在生產(chǎn)過程中需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。這也對超純水處理設(shè)備的處理工藝及產(chǎn)品的簡易性、自動化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了嚴(yán)格的要求。

  一般來說,我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標(biāo)準(zhǔn))、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、日本集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

超純水處理設(shè)備在芯片制造行業(yè)的應(yīng)用

  為滿足用戶需要,達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì),盡可能地減少各級的污染,延長設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量。在工藝設(shè)計(jì)上,超純水處理設(shè)備中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,有更高的性價比和設(shè)備可靠性。

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